Double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings

In the present paper, the results studying the technological regimes of reactive magnetron sputtering in cluster set-up with two planar magnetrons, plasma source and medium energy ion source are presented. Magnetron current-voltage characteristics as well as dependencies of the magnetron current, vo...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2015
Hauptverfasser:	Yakovin, S., Zykov, A., Dudin, S., Sergiec, M., Farenik, V.
Format:	Artikel
Sprache:	English
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2015
Schriftenreihe:	Вопросы атомной науки и техники
Schlagworte:	Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Online Zugang:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/82244
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings / S. Yakovin, A. Zykov, S. Dudin, M. Sergiec, V. Farenik // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 187-189. — Бібліогр.: 6 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-82244
record_format	dspace
fulltext
spelling	irk-123456789-822442015-05-28T03:02:00Z Double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings Yakovin, S. Zykov, A. Dudin, S. Sergiec, M. Farenik, V. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии In the present paper, the results studying the technological regimes of reactive magnetron sputtering in cluster set-up with two planar magnetrons, plasma source and medium energy ion source are presented. Magnetron current-voltage characteristics as well as dependencies of the magnetron current, voltage and the total pressure in the chamber on the reactive gas flow are presented with emphasis on the features of the joint work of the two magnetrons with targets of different materials using different reactive gases. The technological “window” is determined on the basis of the measured characteristics. Представлены результаты исследования технологических режимов реактивного магнетронного напыления в кластерной установке с двумя плоскими магнетронами и источником плазмы. Представлены ВАХ магнетронов, а также зависимости тока и напряжения магнетрона и давления в камере от потока реактивного газа с акцентом на особенностях совместной работы двух магнетронов с мишенями из различных материалов. На основании измеренных характеристик определено оптимальное "технологическое окно". Представлені результати дослідження технологічних режимів реактивного магнетронного напилювання в кластерній установці з двома плоскими магнетронами і джерелом плазми. Представлено ВАХ магнетронів, а також залежності струму і напруги магнетрона та тиску в камері від потоку реактивного газу з акцентом на особливостях спільної роботи двох магнетронів з мішенями з різних матеріалів. На базі виміряних характеристик визначено оптимальне "технологічне вікно". 2015 Article Double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings / S. Yakovin, A. Zykov, S. Dudin, M. Sergiec, V. Farenik // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 187-189. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.77.-j, 81.15.-z http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/82244 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	English
topic	Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
spellingShingle	Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Yakovin, S. Zykov, A. Dudin, S. Sergiec, M. Farenik, V. Double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings Вопросы атомной науки и техники
description	In the present paper, the results studying the technological regimes of reactive magnetron sputtering in cluster set-up with two planar magnetrons, plasma source and medium energy ion source are presented. Magnetron current-voltage characteristics as well as dependencies of the magnetron current, voltage and the total pressure in the chamber on the reactive gas flow are presented with emphasis on the features of the joint work of the two magnetrons with targets of different materials using different reactive gases. The technological “window” is determined on the basis of the measured characteristics.
format	Article
author	Yakovin, S. Zykov, A. Dudin, S. Sergiec, M. Farenik, V.
author_facet	Yakovin, S. Zykov, A. Dudin, S. Sergiec, M. Farenik, V.
author_sort	Yakovin, S.
title	Double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings
title_short	Double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings
title_full	Double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings
title_fullStr	Double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings
title_full_unstemmed	Double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings
title_sort	double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings
publisher	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate	2015
topic_facet	Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/82244
citation_txt	Double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings / S. Yakovin, A. Zykov, S. Dudin, M. Sergiec, V. Farenik // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 187-189. — Бібліогр.: 6 назв. — англ.
series	Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv	AT yakovins doublemagnetronclustersetupforsynthesisofmicroandnanostructurecoatings AT zykova doublemagnetronclustersetupforsynthesisofmicroandnanostructurecoatings AT dudins doublemagnetronclustersetupforsynthesisofmicroandnanostructurecoatings AT sergiecm doublemagnetronclustersetupforsynthesisofmicroandnanostructurecoatings AT farenikv doublemagnetronclustersetupforsynthesisofmicroandnanostructurecoatings
first_indexed	2025-07-06T08:42:56Z
last_indexed	2025-07-06T08:42:56Z
_version_	1836886394810662912

Double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings

Institution

Ähnliche Einträge