Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения - Марченко, Ю.А.; Перун, Н.В.; Воеводин, В.Н.; Ванжа, А.Ф.; Александров, В.А. (Вопросы атомной науки и техники, 2009)
Представлены результаты исследования адгезии методом склерометрии тонких металлических плёнок Тi на стеклянных подложках, формируемых в условиях осаждения с одновременным облучением ионами Не с энергией 30 кэВ при температуре 300 °С. Обнаружено, что максимальная адгезия реализуется при толщине плёнки Тi 0,2…0,3 мкм и соотношении He/Ti при имплантации равном 0,3…0,35. При этом прочность сцепления пленки со стеклом составляет 350 МПа.