Плазменный процесс получения «солнечного» кремния

Выполнен расчет непрерывного высокопроизводительного технологического процесса получения «солнечного» кремния способом плазменного пиролиза моносилана при температуре, превышающей температуру его плавления, когда разложение моносилана проходит через газообразный кремний с последующей гомогенной конд...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Date:2013
Main Author: Петров, С.В.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України 2013
Series:Современная электрометаллургия
Subjects:
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/96702
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Плазменный процесс получения «солнечного» кремния / С.В. Петров // Современная электрометаллургия. — 2013. — № 3 (112). — С. 37-44. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine