Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He - Воронов, Д.Л.; Девизенко, А.Ю.; Зубарев, Е.Н.; Кондратенко, В.В.; Пеньков, А.В.; Севрюкова, В.А.; Бобков, В.В.; Перегон, Т.И.; Тищенко, Л.П. (Физическая инженерия поверхности, 2004)
С помощью рентгеновской дифракции и электронной микроскопии поперечных срезов исследованны структурные изменения в многослойных периодических композициях Mo/Sі во время облучения ионами He. Установлено, что облучение вызывает уменьшение периода многослойной композиции, которое сопровождается уменьшением толщиныслоев молибдена и кремния, возрастанием толщиныперемешанных зон и уменьшением их плотности. В многослойном покрытии развиваются сжимающие напряжения