О механизме образования высоковольтной фото – ЭДС в тонких косонапыленных пленках CdTe:Ag при собственном и примесном поглощении
Предложена новая модель АФН-пленки и новые механизмы образования АФН, на основе которых рассчитана высоковольтная фото-ЭДС при собственном и примесном фотовозбуждении. Теоретически предсказана линейная зависимость люксвольтовой характеристики при малых освещенностях, что подтверждается эксперимент...
Gespeichert in:
Datum: | 2005 |
---|---|
Hauptverfasser: | , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | Russian |
Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2005
|
Schriftenreihe: | Физическая инженерия поверхности |
Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98767 |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Zitieren: | О механизме образования высоковольтной фото – ЭДС в тонких косонапыленных пленках CdTe:Ag при собственном и примесном поглощении / Ю.Ю. Вайткус, Н.Х Юлдашев, С.М. Отажонов // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 3-4. — С. 219–227. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-98767 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-987672016-04-18T03:02:36Z О механизме образования высоковольтной фото – ЭДС в тонких косонапыленных пленках CdTe:Ag при собственном и примесном поглощении Вайткус, Ю.Ю. Юлдашев, Н.Х. Отажонов, С.М. Предложена новая модель АФН-пленки и новые механизмы образования АФН, на основе которых рассчитана высоковольтная фото-ЭДС при собственном и примесном фотовозбуждении. Теоретически предсказана линейная зависимость люксвольтовой характеристики при малых освещенностях, что подтверждается экспериментальными ЛВХ пленки CdTe:Ag в монохроматическом свете. Запропоновано нову модель АФН-плівки й нові механізми утворення АФН, на основі яких розрахована високовольтна фото-ЭДС за власного і примісного фотопорушення. Теоретично обгрунтована лінійна залежність люкс-вольтової характеристики при малих освітленнях, що підтверджується експериментальними ЛВХ плівки CdTe:Ag у монохроматичному світлі. It was offered a new model for APV film and new mechanisms of APV formation , on the basic of which high-voltage photo emf was calculated at own and admixture light excitation. Theoretically it was predicted a linear dependence of lux-voltage characteristic at low illuminations, which is confirmed by experimental LVC of the CdTe:Ag film in monochromatic light. 2005 Article О механизме образования высоковольтной фото – ЭДС в тонких косонапыленных пленках CdTe:Ag при собственном и примесном поглощении / Ю.Ю. Вайткус, Н.Х Юлдашев, С.М. Отажонов // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 3-4. — С. 219–227. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98767 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
Russian |
description |
Предложена новая модель АФН-пленки и новые механизмы образования АФН, на основе которых рассчитана высоковольтная фото-ЭДС при собственном и примесном фотовозбуждении.
Теоретически предсказана линейная зависимость люксвольтовой характеристики при малых
освещенностях, что подтверждается экспериментальными ЛВХ пленки CdTe:Ag в монохроматическом свете. |
format |
Article |
author |
Вайткус, Ю.Ю. Юлдашев, Н.Х. Отажонов, С.М. |
spellingShingle |
Вайткус, Ю.Ю. Юлдашев, Н.Х. Отажонов, С.М. О механизме образования высоковольтной фото – ЭДС в тонких косонапыленных пленках CdTe:Ag при собственном и примесном поглощении Физическая инженерия поверхности |
author_facet |
Вайткус, Ю.Ю. Юлдашев, Н.Х. Отажонов, С.М. |
author_sort |
Вайткус, Ю.Ю. |
title |
О механизме образования высоковольтной фото – ЭДС в тонких косонапыленных пленках CdTe:Ag при собственном и примесном поглощении |
title_short |
О механизме образования высоковольтной фото – ЭДС в тонких косонапыленных пленках CdTe:Ag при собственном и примесном поглощении |
title_full |
О механизме образования высоковольтной фото – ЭДС в тонких косонапыленных пленках CdTe:Ag при собственном и примесном поглощении |
title_fullStr |
О механизме образования высоковольтной фото – ЭДС в тонких косонапыленных пленках CdTe:Ag при собственном и примесном поглощении |
title_full_unstemmed |
О механизме образования высоковольтной фото – ЭДС в тонких косонапыленных пленках CdTe:Ag при собственном и примесном поглощении |
title_sort |
о механизме образования высоковольтной фото – эдс в тонких косонапыленных пленках cdte:ag при собственном и примесном поглощении |
publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
publishDate |
2005 |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98767 |
citation_txt |
О механизме образования высоковольтной фото – ЭДС в тонких косонапыленных пленках CdTe:Ag при собственном и примесном поглощении / Ю.Ю. Вайткус, Н.Х Юлдашев, С.М. Отажонов // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 3-4. — С. 219–227. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
series |
Физическая инженерия поверхности |
work_keys_str_mv |
AT vajtkusûû omehanizmeobrazovaniâvysokovolʹtnojfotoédsvtonkihkosonapylennyhplenkahcdteagprisobstvennomiprimesnompogloŝenii AT ûldaševnh omehanizmeobrazovaniâvysokovolʹtnojfotoédsvtonkihkosonapylennyhplenkahcdteagprisobstvennomiprimesnompogloŝenii AT otažonovsm omehanizmeobrazovaniâvysokovolʹtnojfotoédsvtonkihkosonapylennyhplenkahcdteagprisobstvennomiprimesnompogloŝenii |
first_indexed |
2025-07-07T07:01:11Z |
last_indexed |
2025-07-07T07:01:11Z |
_version_ |
1836970590569758720 |
fulltext |
ФІП ФИП PSE, 2005, т. 3, № 3-4, vol. 3, No. 3-4 219
ВВЕДЕНИЕ
В настоящее время достаточно хорошо изу-
чен аномальный фотовольтаический эффект
в тонких косонапыленных пленках CdTe ( [1–
5]). Так, детально исследованы влияние тех-
нологических параметров на изменение по-
лярности фото-ЭДС, на угловые, спектраль-
ные, люксвольтовые, температурные и другие
характеристики тонких слоев со стехиомет-
рическим химическим составом и с нару-
шенной стехиометрией. Однако до сих пор
процессы формирования аномально боль-
шого фотонапряжения (АФН ~ 103 В/см) в
зависимости от зарядового состояния и энер-
гетического спектра структурных неодно-
родностей, таких, как собственные дефекты
решетки, чужеродные глубокие примеси, по-
верхностные уровни не рассматривались.
Данная работа посвящена развитию теории
образования высоковольтной фото-ЭДС при
собственном и примесном поглощении.
Предлагается новая модель АФН-пленки и
совершенно новые механизмы образования
АФН. Анализируются экспериментальные
спектры поглощения, тока короткого замыка-
ния и люкс-вольтовые характеристики тонкой
пленки CdTe:Аg.
ТЕОРИЯ
Мы рассмотрим более реальную модель
АФН-пленки, отражающую реальные тех-
нологические условия роста поликристал-
лической пленки при косом напылении. На
рис. 1 схематически изображена структура
АФН-пленки в поперечном сечении, где не
заштрихованные области представляют со-
бой пористые участки пленки. Асимметрия
границ раздела бикристалла acde и bcde′, а
также прилегающих им объемов обусловлена
асимметрией роста. Это в свою очередь вызы-
вает соответствующую асимметрию поверх-
ностных и объемных свойств, таких как
концентрация поверхностных состояний
Nt(см
–2), их энергетическое положение в за-
прещенной зоне Et и сечения захвата для
электронов cnt и дырок cpt, высота приповерх-
ностного барьера ψs, концентрация электро-
нов n0 и дырок p0 в квазинейтральном объеме
при термодинамическом равновесии и т.д.
Высоковольтное фотонапряжение VАФН со-
гласно предлагаемой здесь модели возникает
в результате суммирования элементарных фо-
тонапряжений, генерируемых асимметрич-
ными межкристаллитными барьерами. Как
видно из рис. 1, следует различать трех типов
таких барьеров: 1) барьеры на тыловых
поверхностях типа a-c и b-c; 2) барьеры на
границе раздела типа c-d; 3) барьеры на ес-
О МЕХАНИЗМЕ ОБРАЗОВАНИЯ ВЫСОКОВОЛЬТНОЙ ФОТО-ЭДС В
ТОНКИХ КОСОНАПЫЛЕННЫХ ПЛЕНКАХ CdTe:Аg
ПРИ СОБСТВЕННОМ И ПРИМЕСНОМ ПОГЛОЩЕНИИ
Ю.Ю. Вайткус*, Н.Х Юлдашев, С.М. Отажонов
* Вильнюсский университет
Литва
Ферганский университет
Узбекситан
Поступила в редакцию 27.10.2005
Предложена новая модель АФН-пленки и новые механизмы образования АФН, на основе ко-
торых рассчитана высоковольтная фото-ЭДС при собственном и примесном фотовозбуждении.
Теоретически предсказана линейная зависимость люксвольтовой характеристики при малых
освещенностях, что подтверждается экспериментальными ЛВХ пленки CdTe:Ag в моно-
хроматическом свете.
Рис.1. Структура АФН-пленки в поперечном сечении
с плоскостью, перпендикулярной плоскости подложки
ФІП ФИП PSE, 2005, т. 3, № 3-4, vol. 3, No. 3-4220
О МЕХАНИЗМЕ ОБРАЗОВАНИЯ ВЫСОКОВОЛЬТНОЙ ФОТО-ЭДС В ТОНКИХ КОСОНАПЫЛЕННЫХ ПЛЕНКАХ CdTe:Аg...
тественных поверхностях типа d-e и d-e′.
Таким образом, измеряемое фото-ЭДС, во-
обще говоря, для однородно-легированных
образцов, в которых можно пренебречь пере-
зарядкой объемных примесных уровней при
освещении, а биополярная длина диффузии
носителей LбП >> Lэ – длины экранирования,
включает четыре вклада:
( ) ( ) ( ) ( )( ) ФD
3
ФП
2
ФП
1
ФПАФН 1 NVVVVNV +++−= , (1)
где N – число периодически расположенных
кристаллитов вдоль пленки. Здесь для общ-
ности учтена также фото-ЭДС – Дембера или
диффузионная фото-ЭДС VФD “элементарной
ячейки” acbf′e′def, возникающая при ра-
зличных подвижностях электронов и дырок
вследствие градиента концентрации избыточ-
ных носителей заряда, который появляется
из-за неоднородного поглощения света.
Механизм возникновения барьерных
фото-ЭДС ( )i
ФПV при собственном поглощении
света полупроводником заключается в сле-
дующем. Поверхностные заряды создают
изгиба энергетических зон, т.е. поверхност-
ных барьеров и области объемных зарядов
(003), экранирующих квазинейтральные
объемы. Избыточные электронно-дырочные
пары, возбужденные светом в 003, про-
странственно разделяются встроенным элек-
трическим полем поверхностных барьеров и
возможен захват избыточного носителя за-
ряда одного знака ловушками на поверхности
полупроводника. Эти процессы приводит к
увеличению концентрации подвижных но-
сителей в области барьера, что вызывает
понижение первоначальной высоты барьера.
Разность между высотой барьера до и после
освещения, измеренная в вольтах, и представ-
ляет поверхностно-барьерную фото-ЭДС.
Следует особо отметить, что каждый вклад
( )iVФП в АФН формируется как разность двух
поверхностных фото-ЭДС, имеющих проти-
воположного знака, причем ( )1
ФПV и ( )3
ФПV обна-
руживают заметную угловую зависимость от
освещения, которые могут быть как одного,
так и противоположного знака в зависимости
от типа поверхностных барьеров (зависящим
от технологических параметров). Инверсии
знака АФН при фронтальном и тыловом ос-
вещении, а также при угловых и спектраль-
ных зависимостях, естественно, можно объя-
снить различием в знаках ( )1
ФПV и ( )3
ФПV . Вклад
( )2
ФПV , по-видимому, слабо зависит от угла па-
дения света и уменьшается также как и другие
компоненты АФН, из-за увеличения прово-
димости пленки. Таким образом, модель
АФН-пленки на рис. 1 позволяет качественно
удовлетворительно объяснить все ранее
экспериментально обнаруженные особенно-
сти эффекта высоковольтного напряжения [1,
6].
Теперь попытаемся количественно рассчи-
тать отдельные компоненты ( )iVФП – поверх-
ностно-барьерные фото-ЭДС. В случае барье-
ра типа 1 для расчета ( )1
ФПV АФН-пленку рас-
смотрим как линейную периодическую це-
почку последовательно включенных слоев
полупроводник (П) – диэлектрик (D) – полу-
проводник (П) [7]. Тогда соответствующую
модельную зонную диаграмму АФН-пленки
можно представить в виде несколько модер-
низированной модели Петрица [8] (рис. 2).
Диэлектрическую прослойку считаем без-
ловушечной, на противоположных гранях ко-
торой имеются ряд быстрых поверхностных
состояний с отличающимися концентрация-
ми. Темновые концентрации электронов n0 и
дырок p0 в квазинейтральных объемах по-
лупроводников, прилегающих с разных сто-
рон к D-слою, также отличаются: n01 ≠ n02,
p01 ≠ p02. Такая асимметрия свойств струк-
турного элемента ПDП обусловливает асим-
Рис. 2. Энергетическая зонная диаграмма АФН-плен-
ки в условии термодинамического равновесия и воз-
можные электроные переходы, приводящие к обра-
зованию фото-ЭДС при собственном и примесном
поглощения света. Случай поверхностных барьеров
типа 1.
ФІП ФИП PSE, 2005, т. 3, № 3-4, vol. 3, No. 3-4 221
метрию поверхностных барьеров, отражаю-
щую в конце – концов асимметричной гео-
метрии роста кристаллитов.
Под действием освещения из спектраль-
ной области собственного и даже примесного
(типа зона-примесь или примесь-зона) по-
глощения асимметричная ПДП – структура
генерирует фото-ЭДС. Действительно, в слу-
чае примесного поглощения фотона в барьер-
ной области, происходит пространственное
разделение подвижного носителя заряда од-
ного знака и неподвижного примесного иона
противоположного знака, что приводит к об-
разованию поверхностной фото-ЭДС (1 – ме-
ханизм). Если подвижный носитель захваты-
вается поверхностной ловушкой и изменяет-
ся поверхностный заряд, то появляется еще
дополнительный канал образования поверх-
ностной фото-ЭДС (2 – механизм). Поско-
льку, поверхность и потенциальный барьер
с разных сторон D-слоя отличаются по элект-
рофизическим свойствам, то алгебраическая
сумма поверхностных фото-ЭДС ПDП –
структуры
( ) ( ) ( ) s
ФПФПФПФП VVVV +−= 1
2,
1
1,
1 , (2)
отлична от нуля, и составляет 1-й вклад эле-
ментарного фотонапряжения, генерируемое
одним структурным элементом АФН-пленки.
В результате суммирования таких фотонап-
ряжений, согласно (1) и (2), формируется
“примесное - АФН”, обусловленное барье-
рами типа 1.
Здесь очень важно заметить следующие
общие особенности образования АФН при
примесном поглощении.
а) Примесное АФН обусловлено только
поглощением света в барьерных областях, т.е.
для него отсутствует демберовский механизм
образования АФН;
б) Для заданного элементарного барьера
полярность примесной фото-ЭДС не зависит
от типа примесного поглощения, таких как
примесь-зона или зона-примесь (электрон-
ные переходы типа 1 и 2 на рис.2).
в) Межпримесное поглощение света, при
котором не возникает подвижные носители
заряда, не приводит к образованию АФН (пе-
реходы типа 3).
Третье слагаемое в правой части (2) опи-
сывает фото-ЭДС, обусловленной асиммет-
ричным изменением поверхностных зарядов
при освещении за счет захвата избыточных
носителей ловушками на поверхности:
( ) ( )� ∆−∆
ε
δ
=ψ−ψ=
t
tt
эфs
ф
ss
ФП nn
e
е
V 21
0
1
, (3)
где ∆nt1 и ∆nt2 – изменение концентрации
электронов на t поверхностном уровне слева
(индекс 1) и справа (2) от D-слоя, δэф – эффек-
тивная толщина последнего; 1
*
11 ttt nnn −=∆ ,
*
1tn , и nt1 = Nt1ft1 – концентрация электронов
на t поверхностном уровне при освещении и
термодинамическом равновесии. Если счи-
тать, что в 003 справедливо приближение
постоянных квазиуровней Ферми, то для *
1tn
получается выражение [9]
=*
1tn
( )
( )
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
+��
�
�
�
∆++
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
+∆+
⋅
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
+∆+
=
�
�
�
�
�
�
�
�ψ−ψ
ψ
01
0
01
01
1,
0
0
11,
101
0
1,11,
*
1*
1
*
1
1
/1
n
pe
n
pc
n
nec
Nnpcec
tkT
npt
tkT
nnt
ttpt
kT
nnt
s
s
s
.
(4)
Здесь ∆nt1 = δn1/ n0 – уровень инъекции элект-
ронов, *
1sψ – величина изгиба зон на поверх-
ности 1 при освещении, 0
tn и 0
tp – концент-
рация электронов и дырок в случае, когда уро-
вень Ферми совпадает с уровнем t – ловушки.
Величина ∆nt2 вычисляется аналогично ∆nt1
и она согласно (4) сводится к определению
∆n2 и *
2sψ .
Первое и второе слагаемые в правой части
(2) могут быть представлены в виде
( ) ( )1
*
1
1
1ФП,
1
sse
V ψ−ψ= , ( ) ( )2
*
2
1
ФП,2
1
sse
V ψ−ψ=
(5)
т.е. как соответствующее изменение поверх-
ностного изгиба зон под действием освеще-
ния.
Для расчета ∆ni и *
siψ необходимо решать
систему двух уравнений, а именно уравнения
Ю.Ю. ВАЙТКУС, Н.Х. ЮЛДАШЕВ, С.М. ОТАЖОНОВ
ФІП ФИП PSE, 2005, т. 3, № 3-4, vol. 3, No. 3-4222
О МЕХАНИЗМЕ ОБРАЗОВАНИЯ ВЫСОКОВОЛЬТНОЙ ФОТО-ЭДС В ТОНКИХ КОСОНАПЫЛЕННЫХ ПЛЕНКАХ CdTe:Аg...
интегральной нейтральности (баланса заря-
да) и уравнения генерационно-рекомбина-
ционного баланса [9]. Однако решить дан-
ную систему уравнений в общем виде не уда-
ется. Поэтому далее мы приводим результаты
расчета в интересном для нас предельном
случае инверсионного изгиба зон, когда один
дискретный поверхностный уровень обмени-
вается носителями преимущественно с ва-
лентной зоной:
>>
⎥
⎥
⎦
⎤
⎢
⎢
⎣
⎡
+⎟⎟
⎠
⎞
⎜
⎜
⎝
⎛ ψ−⎟⎟
⎠
⎞
⎜⎜
⎝
⎛
∆+
i
tsi
ni
i
i
ipt n
p
kTn
pc
0
0*
0
0
, exp
( ) ⎥
⎦
⎤
⎢
⎣
⎡
+ψ∆+>>
0
0*
, exp1
n
n
kT
c tsi
niint . (6)
Тогда можно показать [9], что
( )
⎟⎟
⎠
⎞
⎜⎜
⎝
⎛
∆⋅+= i
i
i
i n
p
n
e
kTV
0
01
,ФП 1ln , (7)
+
⎟
⎟
⎠
⎞
⎜
⎜
⎝
⎛
⎟
⎟
⎠
⎞
⎜
⎜
⎝
⎛ ψ−+−=∆
kT
si
in
*
si
0i exp
v
v1
2
1
(8)
⎟
⎟
⎠
⎞
⎜
⎜
⎝
⎛ ψ−⎟
⎟
⎠
⎞
⎜
⎜
⎝
⎛ ψ−
⋅
⋅
αη+
⎟
⎟
⎟
⎠
⎞
⎜
⎜
⎜
⎝
⎛
++ kT
oisi
ikT
sisi
e
n
Le
**
vv
v1
4
1
2
si
0i
.
Здесь v0i и vsi– скорости рекомбинации в ква-
зинейтральном объеме и на поверхности i-го
полупроводника (i = 1 слева от D-слоя); α, η
и Li – коэффициент поглощения, квантовый
выход и интенсивность (прошедшего во
внутр пленки, квант/м2⋅с) возбуждающего
света. При слабом уровне возбуждения (8)
сильно упрощается и сводится к виду
kT
si
iisi
i
ni
si
e
n
L
ψ
+
⋅
αη≅∆
v
v
1
v
00 . (9)
Если считать, что уровень инъекции
i
i
ni n
p
0
0<<∆ , то из (7) получим:
( )
kTisi
i
i
si
e
p
L
e
kTV ψ
+
αη=
si
0i0
1
,ФП
v
v
1
v , (10)
для поверхностной фото-ЭДС, обусловлен-
ной изгибом энергетических зон у поверх-
ности полупроводника. Тогда соответст-
вующий элементарный вклад в АФН от одной
ПДП – структурой согласно (2) и (10) будет
определяться формулой
( ) ×αη= L
e
kTV 1
0,ФП (11)
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
+
⋅−
+
⋅× ψ
−
ψ
−
kT
s
kT
s
ss
e
LLp
e
LLp
21
202
2
1
02
101
1
1
01
vv
/
vv
/
,
где L – интенсивность света, падающего на
поверхность пленки. А другой вклад, обу-
словленный захватом избыточных дырок по-
верхностными ловушками с одним дискрет-
ным уровнем, находим из (3) и (4) в соот-
ветствии со сделанными выше предположе-
ниями:
×
ε
=
0
0
ФП
δ tэфs pe
V
�
�
�
�
�
�
−
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
+
−
+
×
�
�
�
�
�
� ψ−
�
�
�
�
�
�
�
� ψ− 0
01
0
01
1
1
*
1
11
t
kT
t
kT
t
peppep
N
ss
⎥
⎥
⎥
⎥
⎦
⎤
⎟
⎟
⎟
⎟
⎠
⎞
⎜
⎜
⎜
⎜
⎝
⎛
+
−
+
−
⎟
⎠
⎞
⎜
⎝
⎛ ψ−
⎟
⎟
⎠
⎞
⎜
⎜
⎝
⎛ ψ− 0
02
0
02
2
*
2
2
11
t
kT
t
kT
t
peppep
N
ss .
Отсюда при малом уровне возбуждения, когда
kTss <ψ−ψ 1
*
1 , получим
×αη⋅
ε
δ
= L
pe
V tэфs
0
0
ФП
−
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
+
�
�
�
�
�
�
�
+
⋅
×
ψψ
−
kT
t
kT
s
t
ss
eppe
LLpN
11
0
01101
1
1
011
vv
/
(12)
ФІП ФИП PSE, 2005, т. 3, № 3-4, vol. 3, No. 3-4 223
⎥
⎥
⎥
⎥
⎥
⎥
⎦
⎤
⎟
⎟
⎠
⎞
⎜
⎜
⎝
⎛
+
⎟
⎟
⎠
⎞
⎜
⎜
⎝
⎛
+
−
ψψ
−
kT
t
kT
s
t
ss
eppe
LLpN
22
0
02202
2
1
022
vv
/
Если подставим (11) и (12) в (2), то окон-
чательно имеем ( ) ×αη= L
e
kTV 1
ФП
−
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
+
δ⋅
+
+
⋅× ψψ
−
kT
t
tэфt
kT
s
ss
epp
LN
e
LLp
11
0
01
2
1
101
1
1
01 /
1
vv
/
⎥
⎥
⎥
⎦
⎤
⎟
⎟
⎟
⎠
⎞
⎜
⎜
⎜
⎝
⎛
+
δ⋅
+
+
⋅
− ψψ
−
kT
t
tэфt
kT
s
ss
epp
LN
e
LLp
22
0
02
2
2
202
2
1
02 /
1
vv
/
, (13)
где 02
0
2 / tt pekTL ε= .
Для расчета вклада ( )2
ФПV , обусловленной
барьерами типа 2 (т.е. границей раздела типа
c-d на рис. 1) АФН-пленку представляем пе-
риодическую цепочку бикристаллов (рис. 3).
Тогда элементарная фото-ЭДС ( )2
ФПV есть фо-
то-ЭДС, генерируемая границей одного би-
кристалла, которая формируется как разность
двух барьерно-поверхностных фото-ЭДС
( ) ( ) ( )2
2,ФП
2
1,ФП
2
ФП VVV −= , (14)
т.е. ( )2
ФПV вычисляется аналогично ( )1
ФПV без
третьей слагаемой sVФП в (2).
Однако заметим, что параметры барьера
и поверхности для барьеров типа 2 и типа 1
различаются. Для простоты считаем одина-
ковыми скорости поверхностной рекомби-
нации слева и справа от границы раздела
vs1 = vs2 = vsб (индекс б относится бикристал-
лу), также как и поверхностных изгибов зон
ψs1 = ψs2 = ψsб без освещения. А равновесные
концентрации носителей n0, p0 и скорости
рекомбинации в квазинейтральных объемах
бикристалла неодинаковы: n01≠ n02, р01≠ р02,
v01≠ v02. С учетом этих замечаний в прибли-
жении слабой инъекция для фото-ЭДС ( )2
ФПV
получаем выражение, аналогичное (11)
( ) ×αη= L
е
kTVФП
2 (15)
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
+
⋅−
�
�
�
�
�
+
⋅×
ψ
−
ψ
−
kT
sб
kT
sб
sбsб
e
LLp
e
LLp
vv
/
vv
/
02
2
1
02
01
1
1
01
.
Отсюда видно, что в допущенных нами выше
предположениях бикристалл генерирует
фото-ЭДС за счет различия его объемных
параметров.
Третий вклад ( )3
ФПV поверхностно-барьер-
ной фото-ЭДС связан непосредственно ден-
дритной структурой открытой (фронтальной)
поверхности АФН-пленки. Мы рассчитаем
его как разности “горизонтально составляю-
щих” фото-ЭДС, генерируемых дендритными
приповерхностями областями, прилегающи-
ми к поверхности e-d и d-e′ на рис. 1 (см.
также рис. 4).
Если параллельный пучок монохромати-
ческого света с интенсивностью L падает на
поверхность АФН-пленки под углом ϕ к
поверхности подложки, то интенсивность
прошедшего через границы e-d и d-e′ света
будет
L1 = T01⋅L⋅sin(α + ϕ) и L2 = T02⋅L⋅sin(ϕ – β).
(16)
где T0i(ϕ) – энергетический коэффициент про-
пускания света i-ой границей раздела ваку-
Рис. 3. Энергетическая зонная диаграмма АФН-плен-
ки в условии термодинамического равновесия и воз-
можные электроные переходы, приводящие к образо-
ванию фото-ЭДС при собственном и примесном
поглощения света. Случай поверхностных барьеров
типа 2.
Ю.Ю. ВАЙТКУС, Н.Х. ЮЛДАШЕВ, С.М. ОТАЖОНОВ
ФІП ФИП PSE, 2005, т. 3, № 3-4, vol. 3, No. 3-4224
О МЕХАНИЗМЕ ОБРАЗОВАНИЯ ВЫСОКОВОЛЬТНОЙ ФОТО-ЭДС В ТОНКИХ КОСОНАПЫЛЕННЫХ ПЛЕНКАХ CdTe:Аg...
ум – АФН-пленка (который может быть рас-
считан формулой Френеля [10]), α и β – угол
наклона поверхности e-d (i = 1) и d-e′ (i = 2).
Из (16) видно, что даже при однородном ос-
вещении поверхности АФН-пленки дендрит-
ная структура вызывает асимметрию интен-
сивности света по обе стороны границы би-
кристаллов. В результате фотогенерации но-
сителей тока и их разделения в приповерх-
ностных 003 электрические поля в них асим-
метрично модулируются, неравенство гори-
зонтально составляющих вектора напряжен-
ности которых приводит к образованию
фото-ЭДС:
( ) ( )3
,ФП
3
1,ФП ed
э
V
L
hV ≅ ,
( ) ( )3
,ФП
3
2,Ф ed
э
П V
L
hV ′≅ . (17)
Здесь учтено, что ed⋅sinα = de′⋅sinβ = h – вы-
сота дендритов (рис. 4). Величины ( )3
,ФП edV и
( )3
,ФП edV ′
вычисляются также как, например,
( )1
1,ФПV и ( )1
2,ФПV . Учитывая (16), (17) и (10) для
( )3
ФПV получим следующее выражение:
( ) ×⋅αη=
эL
hL
e
kTV 3
ФП (18)
( ) ( )
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
+
β−ϕ⋅−
+
ϕ+α⋅× ψ
−
ψ
−
kT
s
kT
s
ss
e
Tp
e
Tp
2,П1,П
2,П02
02
1
02
1,П01
01
1
01
vv
sin
vv
sin
,
где vsП,1 и vsП,2 – скорости поверхностной ре-
комбинации для дендритной поверхности,
ψsП,1 и ψsП,2 изгиб зоны на поверхности e-d и
d-e′. Если в (18) положим h = 0, то вклад
( ) 03
ФП =V , что естественно отражает отсутст-
вие дендритной структуры.
Из формул (13), (15) и (18) для парциаль-
ных вкладов фото-ЭДС ( )iVФП видно, что рас-
смотренные выше все три механизмы обра-
зования АФН приводит к одинаковой по
структуре выражениям. Согласно этим выра-
жениям АФН возникает из-за различия элект-
ронных свойств объема (n0, p0, v0) и поверх-
ности (ψs, vs) соседних кристаллитов, что не
реализуется при нормальном падении моле-
кулярного пучка к подложку. При очень ма-
лых освещенностях света АФН пропорци-
онально коэффициенту поглощения α, кван-
товому выходу η, интенсивности света L, ко-
эффициенту пропускания Tоi границы раздела
вакуум – пленка. Нелинейная зависимость
( )iVФП от L может возникать из-за зависимости
скорости объемной v0i и поверхностной vsi ре-
комбинаций от освещенности. Конкретный
расчет v0i и vsi, так же как и демберовского
вклада VФD, выходит за рамки настоящей ра-
боты. Такой расчет для монокристалла в
определенных приближениях выполнен в
работе [9].
ЭКСПЕРИМЕНТ
Поликристаллические пленки CdTe:Ag выра-
щивались методом термовакуумного испаре-
ния со скоростью конденсации ~1,7 нм/с, тол-
щиной ~1,0 мкм на стеклянную подложку
под углом ~45° между направлением молеку-
лярного пучка и нормалью к подложке, тем-
пература которой равнялась 250° С при ваку-
уме в камере 10–4 ÷ 10–5 мм.рт.ст. Легирование
серебром осуществлялось путем подпыления
из отдельного испарителя на поверхность
Рис. 4. Дендритная структура поверхности АФН-плен-
ки и формирование связенное с нею приповерхност-
ной фото-ЭДС.
ФІП ФИП PSE, 2005, т. 3, № 3-4, vol. 3, No. 3-4 225
подложки или в начальной стадии осаждения
пленок.
Масса легиранта составляла ~0,3% от мас-
сы CdTe. Темновое сопротивление пленок
было ~1010 Ом при 290 К и они генерировали
VАФН ≈ 300 В на 1см длины при естественном
освещении с интенсивностью 104 лк.
С целью изучения основных особенностей
АФН эффекта, вызывающие светом из об-
ласти собственного и примесного поглоще-
ния, были измерены спектры оптического по-
глощения и спектры тока короткого замыка-
ния Iкз (рис. 5). На спектре поглощения света
(кривая 1) исследованных пленок CdTe:Ag
имеется явно выраженная примесная полоса
поглощения: одна более явно выраженная по-
лоса с красной границей ~1,3 эВ обусловлена
скорее всего, с глубокими уровнями одноза-
ряженных вакансий кадмия VCd и их комп-
лексов, а другая, в которой коэффициент по-
глощения уменьшается от ~103 до 102 см–1 в
области 0,7 ÷1,3 эВ, может быть связана с глу-
бокими уровнями двух заряженных вакан-
сий кадмия (Eопт ≈ 0,7 эВ), вакансий теллура
(Eопт ≈ 1,04 эВ), серебра (Eопт ≈ 1,15 эВ) и их
комплексов. На спектре Iкз также четко выяв-
ляется тонкая структура края фоточувстви-
тельности. Из сравнения экспериментальных
результатов с теоретическими кривыми сече-
ния захвата фотона определены глубокие при-
месные уровни с энергиями оптической акти-
вации 0,95 эВ, 1,04 эВ, 1,15эВ и 1,30эВ [11].
На рисунках 2 и 3 схематически показаны
электронные переходы с участием примес-
ного поглощения света, приводящие к обра-
зованию примесного АФН. Заметим, что
спектры коэффициента поглощения и спектр
Iкз хорошо коррелируются.
На рис. 6 в двойном логарифмическом
масштабе представлены люкс-вольтовые
характеристики (ЛВХ) пленок CdTe:Аg при
монохроматическом освещении. Как видно
из рисунка, что ЛВХ обладают одним типом
линейности VАФН ~ Lα и наклон всех кривых
почти одинаков (tgα меняется в пределах
0,99 ÷ 1,23), что отражает однотипность дрей-
фовых барьеров. Также видно, что с ростом
энергии падающих квантов сечения их зах-
вата, связанная с генерацией АФН растет,
причем этот рост при малых энергиях кванта
в области примесного поглощения более су-
щественно, а с приближением hν к Еg се-
чение захвата фотонов насыщается и при
дальнейшем росте hν она практически не
Рис. 5. Спектр поглощения (1) и Iкз (2) пленок CdTe:Ag
при фронтальном освещении.
Рис. 6. Люкс-вольтовые характеристики пленок
CdTe:Ag при монохроматическом освещении.
Ю.Ю. ВАЙТКУС, Н.Х. ЮЛДАШЕВ, С.М. ОТАЖОНОВ
ФІП ФИП PSE, 2005, т. 3, № 3-4, vol. 3, No. 3-4226
О МЕХАНИЗМЕ ОБРАЗОВАНИЯ ВЫСОКОВОЛЬТНОЙ ФОТО-ЭДС В ТОНКИХ КОСОНАПЫЛЕННЫХ ПЛЕНКАХ CdTe:Аg...
зависит, что отражает спектра коэффициента
поглощения (см. рис. 5).
СРАВНЕНИЕ ТЕОРИИ
С ЭКСПЕРИМЕНТОМ
Если в полученных формулах (13), (15) и (18)
которые справедливы лишь при малых ин-
тенсивностях L пренебрегаем слабой частот-
ной зависимостью выражения в квадратной
скобке, то спектр VАФН будет определяться в
основном частотными зависимостями коэф-
фициента поглощения α(v) и квантового вы-
хода η(v), связанными с генерацией АФН:
VАФН ~ α(v)⋅η(v). Поскольку Iкз ~ VАФН, то спект-
ры Iкз и VАФН(v) совпадают. В случае при-
месного поглощения α(v) = σфi⋅ni, где σфi –
сечение захвата фотона i-м примесным цен-
тром, ni – концентрация заполненных i-цен-
тров, которая имеет пространственную
неоднородность в ООЗ. В генерации VАФН
участвует определенная доля α, связанная
поглощением фотонов только в барьерных
областях с электронными переходами типа 1
и 2 (см. рис. 2 и 3). Неполное совпадение экс-
периментальных спектров поглощения α(v)
и тока короткого замыкания Iкз(v) в примес-
ной области поглощения (рис. 5) обусловлено
заведомо существенной частотной зависи-
мостью квантового выхода η(v) поглощения
фотона примесными центрами с последую-
щим пространственным разделением фото-
носителя одного знака и иона. Из сравнения
спектральных кривых α(v) и Iкз на рис. 5 вы-
ходит, что квантовый выход для примесной
АФН в области частот hv < 0,95 эВ ничтожно
мал, однако с ростом частоты в пределах (0,95
÷ 1,3) эВ η увеличивается более чем в 103 ра-
за, тогда как α – менее 1 порядка. В области
частот hv ≥ Eg = 1,50 эВ (Т ≈ 300 К) коэф-
фициент поглощения a также, как и кванто-
вый выход η, а значит и Ιкз испытывает насы-
щение.
Вообще говоря, множитель в квадратной
скобке в формулах (13), (15) и (18) может об-
наружить частотную зависимость через ско-
рости объемной v0i и поверхностной vsi реком-
бинаций, а также через коэффициентов про-
пускания T0i. В зависимости от технологии
получения Iкз (т.е. VАФН) может даже испы-
тать инверсию знака [12].
В известных до сих пор теоретических ра-
ботах (см. например, [1]) утверждалось, что
люксвольтовая характеристика АФН при ма-
лых освещенностях носит сублинейный ха-
рактер. В отличие от этих работ по результа-
там настоящей работы VАФН линейно зависит
от L. Действительно, как видно из формул
(13), (15) и (18) если считать, что при малых
интенсивностях света величины v0i и vsi не
зависят от L, то VАФН обнаруживает линей-
ную зависимость от L: VАФН ~ L. Если анали-
зировать экспериментальные люкс-вольто-
вые характеристики в монохроматическом
свете, представленные на рис. 6 для несколь-
ких значений энергии падающих фотонов из
примесной полосы поглощения, то можно
утверждать, что ЛВХ исследуемых АФН-пле-
нок имеет вид VАФН ~ Lα, причем значение α
изменяется в пределах (0,99 ÷ 1,23). Отсюда
можно заключить, что действительно в со-
ответствии с теорией экспериментальные
ЛВХ при малых освещенностях в пределах
ошибок измерения носит линейный харак-
тер. Небольшое отклонение α от 1 обуслов-
лено, по-видимому, не учтенной зависимос-
тью от L величин v0i и vsi.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
Предлагаемая здесь модель АФН пленки и
механизмы образования высоковольтной
фото-ЭДС исходит из реальной структуры
роста косонапыленной пленки и не допус-
кает абстрактной гипотетической модели ти-
па p-n-p-структуры или асимметричной ани-
зотропии электрических свойств. В принципе
она может быть уточнена конкретными
расчетами α, η, v0i, vsi, T0i или коэффициента
инъекции ∆n при определенном выборе
спектра объемных и поверхностных уровней.
Развитая теория образования АФН качест-
венно удовлетворительно согласуются с пред-
ставленными здесь спектральными и люкс-
вольтовыми характеристиками VАФН.
ЛИТЕРАТУРА
1. Адирович Э.И. и др. Фотоэлектрические яв-
ления в полупроводниках и оптоэлектроника.
– Ташкент: “Фан”, 1972. – 343 с. (С.143-229).
2. Дапкус Л.З., Валацка К.К., Бакутис И.П., Ясу-
тис В.В. Некоторые особенности изменения
ФІП ФИП PSE, 2005, т. 3, № 3-4, vol. 3, No. 3-4 227
ABOUT MECHANISM OF
HIGH-VOLTAGE PHOTO EMF
FORMATION IN THIN SLANTING
DEPOSITED FILMS CdTe:Ag BY OWN
AND ADMIXTURE ABSORPTION
Yu. Vaytkus, N. Yuldashev, S. Otazhenov.
It was offered a new model for APV film and new
mechanisms of APV formation , on the basic of
which high-voltage photo emf was calculated at own
and admixture light excitation. Theoretically it was
predicted a linear dependence of lux-voltage
characteristic at low illuminations, which is
confirmed by experimental LVC of the CdTe:Ag film
in monochromatic light.
ПРО МЕХАНІЗМ УТВОРЕННЯ
ВИСОКОВОЛЬТНОЇ ФОТО-ЭДС
У ТОНКИХ КОСОНАПИЛЕНИХ
ПЛІВКАХ CdTe:Аg ЗА ВЛАСНОГО І
ПРИМІСНОГО ПОГЛИНАННЯ
Ю.Ю. Вайткус, Н.Х. Юлдашев,
С.М. Отажонов
Запропоновано нову модель АФН-плівки й нові
механізми утворення АФН, на основі яких роз-
рахована високовольтна фото-ЭДС за власного і
примісного фотопорушення. Теоретично обгрун-
тована лінійна залежність люкс-вольтової харак-
теристики при малих освітленнях, що підтверд-
жується експериментальними ЛВХ плівки
CdTe:Ag у монохроматичному світлі.
субструктуры, пьезоэлектрического заряда и
высококвольтной фото-ЭДС в косонапылен-
ных пленках CdTe//Lietuvos Fizikos Rinkinys.
– 1981. – XXI, № 1. – С. 59-64.
3. Гулый Е.Г. Жадько И.П., Романов В.А. Фото-
вольтаические свойства асимметричной пе-
риодической p-n-p-структуры//ФТП. – 1982.
– Т. 16, Вып. 2. – С. 331-336.
4. Дошанов К.М. Механизм АФН эффекта в по-
ликристаллических полупроводника//ФТП. –
1990. – Т. 24, Вып. 7. – С. 1251-1263.
5. Агарев В.Н., Степанова Н.А. К теории эффек-
та аномального фотонапряжения в много-
слойных структурах с p-n-p-переходами ФТП.
– 2000. – Т. 34, Вып. 4. – С. 452-454.
6. Атакулов Б.А., Абдуллаев Э.А., Афузов А.Я,
Билялов Э.И., Рахимов А.У. Деформационные
эффекты в неоднородных полупроводниках.
– Ташкент: “Фан”, 1978. – 275 с.
7. Абдуллаев Э.А., Юлдашев Н.Х. //В сб. Мате-
риалы III Всесоюзного научно-технического
семинара-совещания “Перспективы развития
и практическое применение методов тензо-
метрии при исследовании прочности конст-
рукций”. Фергана. – 1983. – С. 108-130.
8. Бьюб Р. Фотопроводимость твердых тел. –
М.: Изд. “Иностранной литературы”, 1962. –
432 с.
9. Зуев В.А., Саченко А.В., Толпыго К.Б. Не-
равновесные приповерхностные процессы в
полупроводниках и полупроводниковых при-
борах. – М.: Сов. Радио, 1977. – 256 с.
10. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. – М.:
“Наука”. – 719 с.
11. Вайткус Ю.Ю., Сенулис Ф.Д. Отажонов С.М.,
Эргашев Ж. Аномальный фотоэффект в плен-
ках CdTe при возбуждении из примесной об-
ласти поглощения. Лит. физ.// Сб. 1986.–
XXVI, № 5. – С. 602-606.
12. Вайткус Ю.Ю., Отажонов С.М. Взаимосвязь
структуры и фотоэлектрических свойств пле-
нок СdTe, обладающих примесным аномаль-
ным фотонапряжением//Кристаллография. –
1992. – Т. 37, Вып. 2. – С. 474-478.
Ю.Ю. ВАЙТКУС, Н.Х. ЮЛДАШЕВ, С.М. ОТАЖОНОВ
|