Рассеяние атомов на шероховатой поверхности ступенчатого профиля
Теоретически рассматривается рассеяние медленных бомбардирующих атомов на твердой поверхности, имеющей геометрические дефекты условно-клиновидного профиля. Предполагается, что поверхность дефекта (“бороздки») представлена совокупностью атомных ступенек. В предположении о зеркальном отражении монона...
Gespeichert in:
| Datum: | 2010 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2010
|
| Schriftenreihe: | Физическая инженерия поверхности |
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98900 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Рассеяние атомов на шероховатой поверхности ступенчатого профиля / А.С. Долгов, А.А. Гетьман // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 3. — С. 242–249. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Zusammenfassung: | Теоретически рассматривается рассеяние медленных бомбардирующих атомов на твердой поверхности, имеющей геометрические дефекты условно-клиновидного профиля. Предполагается, что поверхность дефекта (“бороздки») представлена совокупностью атомных ступенек.
В предположении о зеркальном отражении мононаправленного первичного потока на поверхностях ступенек найдены выражения для вероятностей выхода атома их бороздки для произвольного распределения параметров ступенек произвольного вида. Развиваемые приемы анализа распространяются на случаи изотропного распределения на входе в бороздку и условия
диффузного рассеяния. Обсуждаются специальные варианты воздействия. Указываются области параметров, соответствующие высоким и низким вероятностям отражения, и зависимость
этих величин от ориентации воздействия и макрогеометрии бороздок. Обсуждаются возможности технологического и диагностического применения результатов работы. |
|---|