Влияние дефектов и примесных атомов на физико-механические свойства наноструктурных покрытий в области границ их раздела - Каверин, М.В.; Krause-Rehberg, R.; Береснев, В.М.; Постольный, Б.А.; Колесников, Д.А.; Якущенко, И.В.; Билокур, М.А.; Жоллыбеков, Б.Р. (Физическая инженерия поверхности, 2013)
С помощью уникальных методов: аннигиляции позитронов, микропучка протонов, Резерфордовского обратного рассеяния (RBS) ионов, микроанализа с помощью EDSX совместно с SEM, дифракции рентгеновских лучей (XRD), рентгеновской тензометрии (α-sin²ψ), тестов на нанотвердость, модуль упругости, индекса пластичности и скреч-тестов были исследованы наноструктурные покрытия Ti-Si-N; Ti-Hf-Si-N; (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N, выращенные катодным вакуумно-дуговым источником. Были получены профили дефектов по глубине покрытий и изучено влияние термического отжига до 600 °С (30 мин) на изменение дефектной структуры, упруго-направленного состояния, фазового состава и перераспределения примесных атомов в результате термодиффузии и процессов сегрегации по границам и субграницам нанозерен. Обнаружено увеличение твердости после отжига, уменьшение величины упруго-деформируемого состояния, перераспределение примесных атомов и дефектов.