Термостабильность наноразмерных плёнок Co—Sb
Исследовано формирование фазового состава и структуры в наноразмерных плёнках CoSbx (30 нм) (1,82 ≤ х ≤ 4,16), осаждённых методом молекулярно-лучевой эпитаксии на подложки окислённого монокристаллического кремния при комнатной температуре и температуре 200°C с последующей термической обработкой в ва...
Saved in:
| Date: | 2014 |
|---|---|
| Main Authors: | , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2014
|
| Series: | Металлофизика и новейшие технологии |
| Subjects: | |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Термостабильность наноразмерных плёнок Co—Sb / Ю.Н. Макогон, Е.П. Павлова, С.И. Сидоренко, Д. Беке, А. Чик, Р.А. Шкарбань // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 12. — С. 1621-1634. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Summary: | Исследовано формирование фазового состава и структуры в наноразмерных плёнках CoSbx (30 нм) (1,82 ≤ х ≤ 4,16), осаждённых методом молекулярно-лучевой эпитаксии на подложки окислённого монокристаллического кремния при комнатной температуре и температуре 200°C с последующей термической обработкой в вакууме в интервале температур 300—700°C. |
|---|