Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении - Тесленко-Пономаренко, В.В. (Вопросы атомной науки и техники, 2003)
Методом магнетронного распыления Al при давлении в камере ~10⁻² Па получены плёнки Al₂O₃. Определены структура, пористость, микротвёрдость, микротопография поверхности плёнок для ряда режимов их нанесения. Получены квазиаморфные плёнки с микротвёрдостью 13...15 ГПа. Установлено наличие на поверхности плёнок локальных неоднородностей, обусловленных микропробоями на мишени, которые возникают во время осаждения плёнок.