Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении
Методом магнетронного распыления Al при давлении в камере ~10⁻² Па получены плёнки Al₂O₃. Определены структура, пористость, микротвёрдость, микротопография поверхности плёнок для ряда режимов их нанесения. Получены квазиаморфные плёнки с микротвёрдостью 13...15 ГПа. Установлено наличие на поверхност...
Saved in:
| Date: | 2003 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2003
|
| Series: | Вопросы атомной науки и техники |
| Subjects: | |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении / В.В. Тесленко-Пономаренко // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 5. — С. 175-178. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |