Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития - Сторижко, В.Е.; Мирошниченко, В.И.; Пономарев, А.Г. (Наука та інновації, 2012)
Рассмотрено применение сфокусированных пучков протонов с энергией нескольких МэВ в технологии изготовления микро- и наноразмерных структур. Показаны отличительные особенности взаимодействия энергетичных протонов с резистивными материалами. Дано представление о современном состоянии технологии протонной пучковой литографии и сформулированы перспективы ее развития.