Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития
Рассмотрено применение сфокусированных пучков протонов с энергией нескольких МэВ в технологии изготовления микро- и наноразмерных структур. Показаны отличительные особенности взаимодействия энергетичных протонов с резистивными материалами. Дано представление о современном состоянии технологии прото...
Saved in:
| Date: | 2012 |
|---|---|
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Видавничий дім "Академперіодика" НАН України
2012
|
| Series: | Наука та інновації |
| Subjects: | |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития / В.Е. Сторижко, В.И. Мирошниченко, А.Г. Пономарев // Наука та інновації. — 2012. — Т. 8, № 2. — С. 17-22. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. |