APA-Zitierstil (7. Ausg.)

Grigoriev, N., Kravetsky, M., Paschenko, G., Sypko, S., & Fomin, A. (2002). Balance model for contactless chemo-mechanical polishing of wafers. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України.

Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)

Grigoriev, N.N, M.Yu Kravetsky, G.A Paschenko, S.A Sypko, und A.V Fomin. Balance Model for Contactless Chemo-mechanical Polishing of Wafers. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2002.

MLA-Zitierstil (8. Ausg.)

Grigoriev, N.N, et al. Balance Model for Contactless Chemo-mechanical Polishing of Wafers. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2002.