APA (7th ed.) Citation

Grigoriev, N., Kravetsky, M., Paschenko, G., Sypko, S., & Fomin, A. (2002). Balance model for contactless chemo-mechanical polishing of wafers. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Grigoriev, N.N, M.Yu Kravetsky, G.A Paschenko, S.A Sypko, and A.V Fomin. Balance Model for Contactless Chemo-mechanical Polishing of Wafers. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2002.

MLA (8th ed.) Citation

Grigoriev, N.N, et al. Balance Model for Contactless Chemo-mechanical Polishing of Wafers. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2002.