Исследование процесса получения структуры и свойств магнетронных нанослойных FeAl-покрытий Авторы - Борисов, Ю.С.; Кузнецов, М.В.; Ткаченко, Б.Т.; Волос, А.В.; Задоя, В.Г.; Капитанчук, Л.М.; Гудыменко, А.И.; Горбань, В.Ф. (Автоматическая сварка, 2017)
Работа посвящена исследованию процесса формирования FeAl-покрытия с регулируемым составом на подложках из стали 08Х18Н10Т при совместном магнетронном распылении составной мишени Al + Fe с нагреваемой выше точки Кюри (768°С) вставкой из Ст.3 и алюминиевой мишени. Применение системы цикличного перемещения подложки в активных зонах работы магнетронов позволило формировать нанослойную структуру покрытий с толщиной нанослоев Al — 1,3...1,9, Fe — 1,6 нм. Покрытия исследовали методами Оже-спектрометрии, рентгеновской дифракции и микроиндентирования. Установлено, что FeAl-покрытия толщиной 3 мкм, содержащие 39,6 и 54,6 ат. % Al, являются упорядоченной фазой В 2 — FeAl, состоящей из зерен размером 0,135...0,173 и 0,293...0,335 мкм, сформированных из нанокристаллитов размером 7 и 22 нм, соответственно.