APA (7th ed.) Citation

Dudin, S., Tkachenko, O., Shchybria, A., Yakovin, S., Zykov, A., & Yefymenko, N. (2018). Design and research of combined magnetron-ion-beam sputtering system. Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Dudin, S., O. Tkachenko, A. Shchybria, S. Yakovin, A. Zykov, and N. Yefymenko. Design and Research of Combined Magnetron-ion-beam Sputtering System. Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України, 2018.

MLA (8th ed.) Citation

Dudin, S., et al. Design and Research of Combined Magnetron-ion-beam Sputtering System. Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України, 2018.