Возникновение и роль напряжения сжатия при ионном осаждении алмазоподобной пленки - Стрельницкий, В.Е.; Калиниченко, А.И.; Перепелкин, С.С. (Українське матеріалознавче товариство, 2009)
У моделі нелокального термопружного піку описується процес формування механічних напруг у плівках, що осаджуються, при бомбардуванні іонами низької енергії. Отримано аналітичне вираження для напруг стиску, що є узагальненням відомої формули Девіса. Результати теорії застовуються для аналізу напруг у ta-C покриттях, отриманих осадженням пучка іонів C+ з енергією від 25 еВ до 1000 еВ при різних температурах підкладки, і для пояснення впливу температури підкладки на співвідношення між sp² і sp³ станами у плівці, що осаджується. Отримані результати перебувають у якісній згоді з експериментальними даними по осадженню вуглецевих плівок з пучків іонів C+ при різних температурах підкладки.