Возникновение и роль напряжения сжатия при ионном осаждении алмазоподобной пленки
У моделі нелокального термопружного піку описується процес формування механічних напруг у плівках, що осаджуються, при бомбардуванні іонами низької енергії. Отримано аналітичне вираження для напруг стиску, що є узагальненням відомої формули Девіса. Результати теорії застовуються для аналізу напруг у...
Saved in:
Date: | 2009 |
---|---|
Main Authors: | , , |
Format: | Article |
Language: | Russian |
Published: |
Українське матеріалознавче товариство
2009
|
Subjects: | |
Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Cite this: | Возникновение и роль напряжения сжатия при ионном осаждении алмазоподобной пленки / В.Е.Стрельницкий, А.И.Калиниченко, С.С.Перепелкин // Вісник Українського матеріалознавчого товариства. — 2009. — № 1(2). — С. 43-50. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |