Структурно-фазовые превращения в наноразмерной системе Cu/Cr при термическом и ионном воздействиях - Круглов, И.А.; Котенко, И.Е.; Грищенко, В.А.; Сидоренко, С.И.; Волошко, С.М. (Металлофизика и новейшие технологии, 2019)
Исследованы особенности формирования структуры и фазового состава системы Cu(25 нм)/Cr(25 нм) при отжиге в вакууме в широком температурном интервале. Зафиксировано развитие окислительно-восстановительных процессов, которые можно эффективно контролировать путём использования дополнительной ионно-плазменной обработки. Низкоэнергетическое ионное воздействие позволяет также стабилизировать нанокристаллическую структуру путём торможения процессов рекристаллизации и таким образом повысить термическую стабильность рабочих плёночных элементов микро- и наноэлектронных устройств.