Changes in lifetime of charge carriers and in Ge defective subsurface layer conductivity at thermal treatment - Надточий, В.А.; Нечволод, Н.К.; Голоденко, Н.Н. (Физика и техника высоких давлений, 2004)
Изучено влияние низкотемпературной деформации с одновременным ультразвуковым (УЗ) облучением на рекомбинационные свойства и проводимость приповерхностных слоев Ge. Деформация при 300 K вызывает зарождение дислокаций и точечных дефектов (ТД) в приповерхностном слое, где проявляется донорное действие деформации и снижается время жизни неравновесных носителей заряда. Термообработка кристаллов в интервале 400−900 K сопровождается генерацией дислокаций на гетерогенных источниках в более глубоких слоях и отжигом ТД.