Система квантовых структур с алмазоподобным углеродным покрытием для кремниевых фотопреобразователей
Изучены особенности процесса нанесения аморфного алмазоподобного углеродного покрытия на облученную электронами и тяжелыми многозарядными ионами поверхность кремниевого фотопреобразователя с квантовыми нитями. Приведены экспериментальные результаты исследований оптических характеристик гидрогенизиро...
Gespeichert in:
| Datum: | 2010 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2010
|
| Schlagworte: | |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Система квантовых структур с алмазоподобным углеродным покрытием для кремниевых фотопреобразователей / В.П. Ефимов, А.С. Абызов, А.А. Лучанинов, А.О. Омаров, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2010. — № 3. — С. 173-176. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Zusammenfassung: | Изучены особенности процесса нанесения аморфного алмазоподобного углеродного покрытия на облученную электронами и тяжелыми многозарядными ионами поверхность кремниевого фотопреобразователя с квантовыми нитями. Приведены экспериментальные результаты исследований оптических характеристик гидрогенизированных алмазоподобных легированных азотом а-С:(Н,N)-покрытий. Выполнена оптимизация параметров осаждения а-С:(Н,N)-покрытий на разупорядоченные структуры кремниевых полупроводников для достижения минимального коэффициента отражения света от фронтальной поверхности кристалла и обеспечения его механической защиты. |
|---|