Система квантовых структур с алмазоподобным углеродным покрытием для кремниевых фотопреобразователей - Ефимов, В.П.; Абызов, А.С.; Лучанинов, А.А.; Омаров, А.О.; Стрельницкий, В.Е. (Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України, 2010)
Изучены особенности процесса нанесения аморфного алмазоподобного углеродного покрытия на облученную электронами и тяжелыми многозарядными ионами поверхность кремниевого фотопреобразователя с квантовыми нитями. Приведены экспериментальные результаты исследований оптических характеристик гидрогенизированных алмазоподобных легированных азотом а-С:(Н,N)-покрытий. Выполнена оптимизация параметров осаждения а-С:(Н,N)-покрытий на разупорядоченные структуры кремниевых полупроводников для достижения минимального коэффициента отражения света от фронтальной поверхности кристалла и обеспечения его механической защиты.