APA (7th ed.) Citation

Bizyukov, A., Tarasov, I., & Chibisov, A. (2019). Using of electron cyclotron resonance discharge in ion beam sputtering systems for space charge compensation. Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Bizyukov, A.A, I.K Tarasov, and A.D Chibisov. Using of Electron Cyclotron Resonance Discharge in Ion Beam Sputtering Systems for Space Charge Compensation. Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України, 2019.

MLA (8th ed.) Citation

Bizyukov, A.A, et al. Using of Electron Cyclotron Resonance Discharge in Ion Beam Sputtering Systems for Space Charge Compensation. Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України, 2019.