Ионный инжектор полевого типа
С целью повышения пространственного разрешения установок с фокусированными ионными пучками разработан ионный инжектор полевого типа. Измерения параметров инжектора проводятся на высоковакуумном стенде с давлением остаточных газов порядка 5•10⁻⁷ Па. Ионный инжектор состоит из газового полевого ионног...
Saved in:
| Date: | 2010 |
|---|---|
| Main Authors: | , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Видавничий дім "Академперіодика" НАН України
2010
|
| Series: | Наука та інновації |
| Subjects: | |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Ионный инжектор полевого типа / В.И. Возный, В.Е. Сторижко, В.И. Мирошниченко, В.В. Токмань, Е.А. Миронец, Е.А. Батура // Наука та інновації. — 2010. — Т. 6, № 5. — С. 72-76. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineBe the first to leave a comment!