Наливайко, О., & Турцевич, А. (2012). Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України.
Chicago Style (17th ed.) CitationНаливайко, О.Ю, and А.С Турцевич. Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2012.
MLA (8th ed.) CitationНаливайко, О.Ю, and А.С Турцевич. Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2012.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.