Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума
Показано влияние развития полупроводниковой промышленности на основные современные тенденции развития вакуумной техники и рынка вакуумного оборудования.
Saved in:
| Date: | 2010 |
|---|---|
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2010
|
| Series: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Subjects: | |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума / Ю.К. Васильев, С.Б. Нестеров, Т.С. Васильева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 47-51. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |