Газочувствительные элементы на основе пленок SiPcCl₂
Рассматриваются электрические и детектирующие свойства пленок фталоцианина кремния. Показано влияние технологических параметров, воздействия температуры и концентрации оксидов азота на эти свойства....
Saved in:
| Date: | 2010 |
|---|---|
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2010
|
| Series: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Subjects: | |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Газочувствительные элементы на основе пленок SiPcCl₂ / Х.С. Алиева, С.С. Сулейманов, М.Н. Муршудли // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 58-61. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |