Лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов - Ильин, В.Н.; Дубешко, А.В.; Михаевич, Д.А. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2010)
Представлены базовые варианты многокоординатных устройств контроля сложных профилей поверхности, отличающиеся способом формирования зондирующего пучка, и принцип построения трехкоординатной системы измерения высоты и линейных размеров микросборок ПЗС.