Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур - Бойко, Ю.В.; Кузнецов, Г.В.; Савицкий, С.М.; Третяк, О.В. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2007)
Описан автоматизированный спектрометр для исследования параметров примесных и дефектных глубоких центров, поверхностных состояний в полупроводниковых структурах методом релаксационной спектроскопии глубоких уровней.