Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке - Белоусов, И.В. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2007)
Рассмотрена кристаллизация силицидной фазы кобальта на поверхности монокристаллического кремния и возможность создания самоформирующихся субмикронных и наноразмерных элементов кремниевых интегральных схем.