Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике - Белянин, А.Ф.; Самойлович, М.И.; Ковальский, К.А.; Петухов, К.Ю. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2005)
Показаны условия получения и эксплуатационные характеристики слоистых структур, включающих AlN, ZnO, алмаз и алмазоподобный углерод, для акусто- и эмиссионной электроники.