Интегральные микроэлектронные преобразователи для дистанционных измерений - Гусейнов, Я.Ю. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2001)
Разработаны магнито- и газочувствительные интегральные преобразователи с частотным выходом на базе пленок поликристаллического кремния, выращенных в едином технологическом цикле эпитаксиального наращивания монокристаллических пленок n-типа проводимости.