Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров - Черняк, Н.Г.; Стеценко, О.В. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2001)
Проведен аналитический расчет коэффициентов газового демпфирования колебаний планарного чувствительного элемента (ЧЭ) измерителя углового ускорения и получены геометрические параметры ЧЭ, обеспечивающие требуемые характеристики. Полученные результаты могут быть использованы при решении задач расчета параметров газового демпфирования планарных ЧЭ различных датчиков физических величин.