Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров
Проведен аналитический расчет коэффициентов газового демпфирования колебаний планарного чувствительного элемента (ЧЭ) измерителя углового ускорения и получены геометрические параметры ЧЭ, обеспечивающие требуемые характеристики. Полученные результаты могут быть использованы при решении задач расчет...
Saved in:
| Date: | 2001 |
|---|---|
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
| Series: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Subjects: | |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров / Н.Г. Черняк, О.В. Стеценко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 43-46. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineBe the first to leave a comment!