Новые подложки для алмазоподобных пленочных элементов электроники
Предлагается технология получения нетрадиционных подложек из анодно-оксидированного алюминия для электропроводных алмазоподобных пленок. Анодирование алюминия позволяет формировать покрытия, изолирующие свойства которых значительно превосходят традиционные подложки из керамики. Рассмотрены методы фо...
Saved in:
| Date: | 2000 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2000
|
| Series: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Subjects: | |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Новые подложки для алмазоподобных пленочных элементов электроники / С.В. Завьялов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2000. — № 2-3. — С. 57-59. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Summary: | Предлагается технология получения нетрадиционных подложек из анодно-оксидированного алюминия для электропроводных алмазоподобных пленок. Анодирование алюминия позволяет формировать покрытия, изолирующие свойства которых значительно превосходят традиционные подложки из керамики. Рассмотрены методы формирования оксида алюминия и способы его уплотнения полимеризацией для достижения требуемых изоляционных и теплофизических характеристик. Результаты работы представляют практическую ценность для создания резисторов, нагревательных элементов и других элементов электроники с повышенной (до 150 Вт) рассеиваемой мощностью. |
|---|