Новые подложки для алмазоподобных пленочных элементов электроники - Завьялов, С.В. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2000)
Предлагается технология получения нетрадиционных подложек из анодно-оксидированного алюминия для электропроводных алмазоподобных пленок. Анодирование алюминия позволяет формировать покрытия, изолирующие свойства которых значительно превосходят традиционные подложки из керамики. Рассмотрены методы формирования оксида алюминия и способы его уплотнения полимеризацией для достижения требуемых изоляционных и теплофизических характеристик. Результаты работы представляют практическую ценность для создания резисторов, нагревательных элементов и других элементов электроники с повышенной (до 150 Вт) рассеиваемой мощностью.