Влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света - Барчук, О.И.; Биленко, К.С.; Голобородько, А.А.; Курашов, В.Н.; Оберемок, Е.А.; Савенков, С.Н. (Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології, 2009)
Рассмотрены оптические характеристики сложных многослойных систем на основе кремния. Исследовано влияние структуры поликристаллических пленок с наноразмерными особенностями на характер угловых зависостей коэффициентов отражения Rp и Rs. Показано, что для интерпретации полученных экспериментальных результатов во многих случаях можно использовать модель многократного рассеяния для слоистых структур. При расчетах необходимо учитывать поглощение в таких средах и усреднение по апертуре фотодетектора. Компьютерное моделирование показало, что наличие на подложке слоя окисла существенно меняет характер зависимостей для коэффициентов отражения. Наличие дополнительных экстремумов в вышеуказанных зависимостях связано с существованием интерферирующих волн, отраженных от границ с различными показателями преломления для системы воздух—поликристаллическая пленка—окисел—подложка.