Измерение толщины тонких углеродных фольг методом кварцевого резонатора

Описан способ измерения толщины тонких (~0,5 мкг/см²) углеродных фольг в процессе их изготовления, основанный на применении кварцевого резонатора. Показано, что в условиях импульсного вакуумного распыления графита применение кварцевого резонатора со слабой зависимостью частоты от температуры позволя...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Date:2002
Main Authors: Батурин, В.А., Карпенко, А.Ю., Нагорный, А.Г., Пустовойтов, С.А.
Format: Article
Language:Russian
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2002
Series:Вопросы атомной науки и техники
Subjects:
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Измерение толщины тонких углеродных фольг методом кварцевого резонатора / В.А. Батурин, А.Ю. Карпенко, А.Г. Нагорный, С.А. Пустовойтов // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 1. — С. 165-168. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine