Измерение толщины тонких углеродных фольг методом кварцевого резонатора
Описан способ измерения толщины тонких (~0,5 мкг/см²) углеродных фольг в процессе их изготовления, основанный на применении кварцевого резонатора. Показано, что в условиях импульсного вакуумного распыления графита применение кварцевого резонатора со слабой зависимостью частоты от температуры позволя...
Saved in:
Date: | 2002 |
---|---|
Main Authors: | , , , |
Format: | Article |
Language: | Russian |
Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2002
|
Series: | Вопросы атомной науки и техники |
Subjects: | |
Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Cite this: | Измерение толщины тонких углеродных фольг методом кварцевого резонатора / В.А. Батурин, А.Ю. Карпенко, А.Г. Нагорный, С.А. Пустовойтов // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 1. — С. 165-168. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |