Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики - Марченко, И.Г.; Марченко, И.И.; Неклюдов, И.М. (Вопросы атомной науки и техники, 2004)
Разработан алгоритм определения поверхностных атомов в сильноискаженных структурах. Методом молекулярной динамики (ММД) исследован рост пленок ниобия при вакуумном осаждении. Предложенный алгоритм использован для определения шероховатости осаждаемой пленки и характеристик образующихся внутренних полостей. Установлено, что изменение шероховатости пленки связано с развитием структуры микротрещин: внутренние полости залегают под ними. Образование пор приводит к уменьшению плотности пленки по сравнению с объемной.