Структурные превращения в титане при имплантации ионов дейтерия и постимплантационных отжигах - Морозов, А.Н.; Неклюдов, И.М.; Рыбалко, В.Ф.; Кулиш, В.Г. (Вопросы атомной науки и техники, 2002)
Исследовано влияние имплантированных ионов дейтерия на кристаллическую структуру Тi и структурные изменения в облученных образцах, вызываемых высокотемпературным отжигом. Показано, что имплантация дейтерия в титан приводит к структурным изменениям в имплантированном слое и что природа структурного перехода чисто химическая, а структурный переход обусловлен образованием гидрида титана TiD₂. Высокотемпературный отжиг облученных пленок приводит к разложению гидрида TiD₂, возникшего в результате ионной имплантации. Процесс разложения начинается при температуре ~500 K и заканчивается при температуре ~600 K при достаточной длительности отжига.