Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления - Василенко, Н.А.; Василенко, А.О. (Проблемы машиностроения, 2013)
Повышение физических, механических и химических характеристик тонких нитридных пленок зависит от методов их осаждения и усовершенствования структуры, которая и определяет получаемые свойства. Методом ионной имплантации и конденсации и ионной бомбардировки получены пленки нитридов на подложках Ti, Ta, W, Mo, Ni, Si (111) и NaCl (100), изучены их физические, электрические, химические характеристики.