Применение разрядов в парах испаряемых металлов для осаждения плёнок из ионизированного потока - Костин, Е.Г. (Вопросы атомной науки и техники, 2006)
Приведены результаты исследований разрядного устройства для ионизации паров твердофазных веществ, испаряемых электронной пушкой с отклонением луча на 180°. Ионизирующее разрядное устройство диодного типа размещалось над поверхностью испаряемого материала и находилось в продольном регулируемом магнитном поле. Разряд осуществлялся в скрещенных электрическом и магнитном полях. Частичная ионизация пара производилась первичными и вторичными электронами пушки в облаке пара над испаряемым веществом. Изучались электрофизические свойства и структура осаждённых из ионизированного потока плёнок. Проведен сравнительный анализ свойств пленок, осажденных в условиях воздействия бомбардировки ионами испаряемого металла в зависимости от энергии и содержания ионов в потоке частиц на подложку.