Применение разрядов в парах испаряемых металлов для осаждения плёнок из ионизированного потока
Приведены результаты исследований разрядного устройства для ионизации паров твердофазных веществ, испаряемых электронной пушкой с отклонением луча на 180°. Ионизирующее разрядное устройство диодного типа размещалось над поверхностью испаряемого материала и находилось в продольном регулируемом магнит...
Gespeichert in:
| Datum: | 2006 |
|---|---|
| 1. Verfasser: | |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2006
|
| Schriftenreihe: | Вопросы атомной науки и техники |
| Schlagworte: | |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Применение разрядов в парах испаряемых металлов для осаждения плёнок из ионизированного потока / Е.Г. Костин // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 131-135. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |