APA (7th ed.) Citation

Manuilenko, O., Minaeva, K., & Golota, V. (2006). Ion energy and ion angular distributions in RF capacitively coupled plasma sources: Pure argon and argon-oxygen mixtures. Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Manuilenko, O.V, K.M Minaeva, and V.I Golota. Ion Energy and Ion Angular Distributions in RF Capacitively Coupled Plasma Sources: Pure Argon and Argon-oxygen Mixtures. Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України, 2006.

MLA (8th ed.) Citation

Manuilenko, O.V, et al. Ion Energy and Ion Angular Distributions in RF Capacitively Coupled Plasma Sources: Pure Argon and Argon-oxygen Mixtures. Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України, 2006.