Plasma and ion beam surface modification at Lawrence Berkeley National Laboratory
Surface processing by metal plasma and ion beams can be effected using the dense metal plasma formed in a vacuum arc discharge embodied either in a “metal plasma immersion” configuration or as a vacuum arc ion source. In the former case the substrate is immersed in the plasma and repetitively pulse-...
Gespeichert in:
| Datum: | 2000 |
|---|---|
| 1. Verfasser: | |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2000
|
| Schriftenreihe: | Вопросы атомной науки и техники |
| Schlagworte: | |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Plasma and ion beam surface modification at Lawrence Berkeley National Laboratory / I. Brown // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 3. — С. 133-137. — Бібліогр.: 29 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineSchreiben Sie den ersten Kommentar!