Нанокристаллические алмазные CDV-пленки: структура, свойства и перспективы применения
Представлен обзор литературы, посвященной синтезу нанокристаллических алмазных пленок методом газофазного химического осаждения. Обсуждаются основные приемы, которые позволяют ограничивать размер зерен растущих кристаллитов в алмазных пленках. К ним можно отнести предварительную обработку поверхно...
Saved in:
| Date: | 2010 |
|---|---|
| Main Authors: | , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2010
|
| Series: | Физическая инженерия поверхности |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Нанокристаллические алмазные CDV-пленки: структура, свойства и перспективы применения / И.И. Выровец, В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, О.А. Опалев, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 1. — С. 4–19. — Бібліогр.: 65 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Summary: | Представлен обзор литературы, посвященной синтезу нанокристаллических алмазных пленок
методом газофазного химического осаждения. Обсуждаются основные приемы, которые позволяют ограничивать размер зерен растущих кристаллитов в алмазных пленках. К ним можно
отнести предварительную обработку поверхности подложки, изменение состава рабочего газа
и подачу потенциала смещения на подложку. Рассмотрены особенности структуры и свойств
нанокристаллических алмазных пленок и перспективы их использования в различных областях
науки и техники. |
|---|