Влияние распределения рассеяний выбитых атомов в каскаде столкновений на формирование рельефа при облучении аморфной мишени Si ионами Ar c энергией 1 кэВ - Губарев, А.А. (Физическая инженерия поверхности, 2013)
Методом статистического моделирования в приближении парных столкновений исследовано распределение рассеяний в каскадах столкновений выбитых атомов мишени при облучении аморфного Si ионами Ar с энергией 1 кэВ. Обнаружена сильная зависимость от глубины среднего косинуса угла между направлением движения выбитого атома после очередного рассеяния и направлением падения первичного иона. Выполненный в предположении больших углов падения, численный анализ влияния обнаруженной зависимости на формирование рельефа позволил идентифицировать основную особенность в распределении рассеяний, ответственную за отсутствие возникновения рельефа при динамическом моделировании без учета переноса атомов под поверхностью мишени.