Применение многокомпонентных катодов, полученных электронно-лучевым плавлением, для формирования сверхтвердых нанокомпозитных покрытий
Изложены методы формирования и результаты применения многокомпонентных катодов, получаемых электронно-лучевым плавлением для формирования сверхтвердых покрытий на основе Zr, Ti, Si и N и Ti, Hf, Si и N способом вакуумно-дугового осаждения. Исследовано соответствие элементного состава синтезированных...
Saved in:
| Date: | 2013 |
|---|---|
| Main Authors: | , , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2013
|
| Series: | Физическая инженерия поверхности |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Применение многокомпонентных катодов, полученных электронно-лучевым плавлением, для формирования сверхтвердых нанокомпозитных покрытий / В.М. Береснев, П.В. Турбин, В.В. Грудницкий, И.Н. Торяник, А.Е. Дмитренко, А.Ю. Кропотов, В.И. Гриценко, Л.В. Маликов, С.С. Гранкин // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 2. — С. 204–211. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Summary: | Изложены методы формирования и результаты применения многокомпонентных катодов, получаемых электронно-лучевым плавлением для формирования сверхтвердых покрытий на основе Zr, Ti, Si и N и Ti, Hf, Si и N способом вакуумно-дугового осаждения. Исследовано соответствие элементного состава синтезированных покрытий составу распыляемого катода. |
|---|