The investigation of RF discharge in the procession-plasma method by coating films

The investigation of RF discharge in the procession-plasma method by coating films

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2003
Hauptverfasser:	V. I. Gritsenko, V. M. Beresnev, O. M. Shvets
Format:	Artikel
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2003
Schriftenreihe:	Physical surface engineering
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000849880
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