Komarov, F. F., Milchanin, O. V., Mironov, A. M., & Kupchishin, A. I. (2008). The formation of isolating and gettering layers in semiconductors with use of medium energy proton implantation.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Komarov, F. F., O. V. Milchanin, A. M. Mironov, und A. I. Kupchishin. The Formation of Isolating and Gettering Layers in Semiconductors with Use of Medium Energy Proton Implantation. 2008.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Komarov, F. F., et al. The Formation of Isolating and Gettering Layers in Semiconductors with Use of Medium Energy Proton Implantation. 2008.
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